otsukael積分光度計(jì)

otsukael積分光度計(jì)除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過實(shí)現(xiàn)自動可變測量角度機(jī)構(gòu)來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外，還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測量精度。

產(chǎn)品型號：SLS-6500HL
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2023-04-21
訪問量：3404

立即咨詢

聯(lián)系電話：

產(chǎn)品詳情

品牌	其他品牌	產(chǎn)地	國產(chǎn)

otsukael靜態(tài)光散射光度計(jì) 積分光度計(jì)SLS-6500HL的介紹

除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外，它還通過實(shí)現(xiàn)自動可變測量角度機(jī)構(gòu)來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外，還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測量精度。

特征：

可在紫外-可見（300 至 800 nm）波長范圍內(nèi)測量橢圓參數(shù)
能夠分析納米級多層薄膜的膜厚
通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜
支持通過可變反射角測量對薄膜進(jìn)行詳細(xì)分析
通過創(chuàng)建光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫和添加配方注冊功能提高可操作性

測量項(xiàng)目

橢圓參數(shù)（tanψ，cosΔ）測量
光學(xué)常數(shù)（n：折射率，k：消光系數(shù)）分析
膜厚分析

測量對象

半導(dǎo)體ウェーハ
ゲート酸化薄膜，窒化膜
SiO2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN
レジストの光學(xué)定數(shù)(波長分散)
化合物半導(dǎo)體
AlxGa(1-x)As 多層膜，アモルファスシリコン
FPD
配向膜
各種新素材
DLC(Diamond Like Carbon)，超伝導(dǎo)用薄膜，磁気ヘッド薄膜
光學(xué)薄膜
TiO2，SiO2，反射防止膜
リソグラフィー分野
g線(436nm)，h線(405nm)，i線(365nm)などの各波長におけるn，k評価

在線咨詢

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補(bǔ)充說明：
驗(yàn)證碼：

請輸入計(jì)算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

返回列表

蜜臀久久99精品久久久宅男-国产三级在线观看91-日韩性生活网站视频观看-韩视频无遮挡免费网站

otsukael積分光度計(jì)

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補(bǔ)充說明：

驗(yàn)證碼：