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ulvac-kiko 真空泵 低溫泵 再生氣體配管單元 離子濺射儀

ulvac-kiko 真空泵 低溫泵 再生氣體配管單元PR2A

CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據(jù)FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發(fā)等應用領域的不同,從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。

  • 產(chǎn)品型號:PR2A
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2023-04-11
  • 訪  問  量:542
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ulvac-kiko 真空泵 低溫泵 再生氣體配管單元PR2A

ulvac-kiko 真空泵 低溫泵 再生氣體配管單元PR2A




CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據(jù)FPD、半導體、電子機器、光學、研究開發(fā)等應用領域的不同,從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。

特點

  • 輕量?緊湊、標準尺寸最小的泵

  • 適用于實驗室和研究室的小型真空設備。

  • 可以多臺運行(最多3臺)

  • 可以達到超高真空(10-8Pa以下)

膜片泵通過橡膠膜片的往復運動來形成真空。
泵體結(jié)構(gòu)采用無油環(huán)境設計、因此維護簡單。
根據(jù)您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設計。

特點

  • 價格低廉,銷售量多的標準型干式真空泵。

  • 氣體接觸區(qū)域不使用油的干式真空泵。

  • 豐富的產(chǎn)品陣容可滿足不同的應用需求。

  • 單級排氣系統(tǒng)比兩級排氣系統(tǒng)更快。

  • 具有鎖定保護和過流保護功能等安全設計。

  • 大氣壓下可以運作。

用途

  • 真空吸盤,晶圓和處理設備。

  • 真空鑷子,醫(yī)療器械。

  • 印刷設備。

  • 自動包裝機。

  • 光學器具。

  • 半導體行業(yè)。

  • 注塑機。


膜片泵通過橡膠膜片的往復運動來形成真空。
泵體結(jié)構(gòu)采用無油環(huán)境設計、因此維護簡單。
根據(jù)您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設計

特點

  • 價格低廉,銷售量多的標準型干式真空泵。

  • 氣體接觸區(qū)域不使用油的干式真空泵。

  • 豐富的產(chǎn)品陣容可滿足不同的應用需求。

  • 兩級排氣系統(tǒng)與單級排氣系統(tǒng)相比具有更低的壓力(良好的真空)。

  • 內(nèi)置自動復位型熱保護器等安全設計。

  • 大氣壓力下可運作。

  • 結(jié)構(gòu)簡單,維護方便。

  • Unit50Hz60Hz
    有效排氣速度
    L/min120145
    極限壓力
    Pa (kPa)3.3×10 3 (-98.0)
    使用電動機

    単相, 100V, 400W, 4P, Capacitor run
    全負荷電流
    A4.85.8
    重量
    kg26.0
    吸?排氣口徑
    mmODΦ16×IDΦ12 (G 1/2)
    使用環(huán)境溫度范圍
    0~40
    最大尺寸
    mm193.5(W)×411(L)×285(H)










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