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日本photonic-lattice膜厚分布測(cè)量檢測(cè)儀ME-210/ME-210-T這是一款高速映射橢圓儀，可以測(cè)量 φ8″ 晶圓的整個(gè)表面（最大?300 mm 是可選的），可以高速和高密度測(cè)量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它支持各種膜厚分布測(cè)量。
產(chǎn)品型號(hào)：ME-210/ME-210-T廠(chǎng)商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商更新時(shí)間：2023-04-07訪(fǎng) 問(wèn) 量：1187
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日本photonic-lattice膜厚分布測(cè)量檢測(cè)儀ME-210/ME-210-T
日本photonic-lattice膜厚分布測(cè)量檢測(cè)儀ME-210/ME-210-T
這是一款高速映射橢圓儀，可以測(cè)量 φ8″ 晶圓的整個(gè)表面（最大?300 mm 是可選的），可以高速和高密度測(cè)量 1 nm 或更小的膜厚度變化。它
支持各種膜厚分布測(cè)量。
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| 重復(fù)性 |
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| 測(cè)量點(diǎn) |
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| 入射角 |
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| 尺寸 （寬 x 深 x 高） |
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| 兼容透明基材 |
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| 舞臺(tái)尺寸 |
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| 尺寸 （寬 x 深 x 高） |
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| 重量 |
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| 界面 |
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| 電源 |
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| 軟件 |
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| 配件 |
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