| 顯示器 | 3.5型觸摸屏 |
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| 搭載模式 | RUN模式、BAKEOUT模式 |
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| 溫度控制 | (室溫+10 )~350 ℃ |
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| 升溫速度設定范圍 | 5~45 ℃/sec(1 ℃/sec步驟) |
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| 溫度設定范圍 | Initial:40~150 ℃(1℃步驟)
Desorb:(Initial溫度)~350 ℃(1 ℃步驟)
Bakeout:40~350 ℃(1 ℃步驟) |
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| 時間設定范圍 | Desorb:1~5 min(0.1 min步)
Bakeout:1~120 min(0.1 min步) |
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| 供給氣體 | 氦、氮(在環(huán)境設定中選擇) |
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| 連接氣體配管直徑 | IN:1/8 inch，OUT:1/16 inch |
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| 煤氣控制方式 | 電子式控制 |
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| 氣體控制模式 | Initial/Bakeout/Cooldown :流量模式
深度:壓力模式 |
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| 最大供給壓力 | 800千帕( 116 psi ) |
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| 壓力設定范圍 | 10~450 kPa(1 kPa步長)
( 1.5~65.2 psi ) ( 0.1 psi步驟) |
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| 流量設定范圍 | 5~100 mL/min(1 mL/min步長) |
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| 文件數 | RUN模式: 9，Bakeout模式: 1 |
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| 大小 | 133(W )×275(D )×222(H ) mm突起物除外 |
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| 重量 | 約4.4公斤 |
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| 電源 | AC100~240 V±10 %50/60 HzMax.500 VA |
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更新時間：2024-04-10 
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