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更新時間：2023-12-22 
瀏覽次數(shù)：477【最的適的合曝光裝置的溫度管理】Apiste精密空調機PAU系列
【最的適的合曝光裝置的溫度管理】Apiste精密空調機PAU系列
只需連接就能簡單地實現(xiàn)精密空調。自由調溫包圍的空間的Apiste的精密空調機PAU系列
[最的適的合曝光裝置的溫度管理]精密空調機PAU系列
在曝光裝置中，為了抑制光掩模的膨脹和收縮，
你需要供應冷風，以穩(wěn)定溫度。
PAU機組可實現(xiàn)要求溫度、濕度、清潔度的空氣。
進行局部空間的空調的“PAU系列"包括：
與整體空調相比，可以抑制能量消耗，更不用說高精度的溫度管理，
即使對于困難的濕度，也可以根據(jù)需要進行從低濕環(huán)境到潮濕環(huán)境的精密控制。
此外，通過與風扇過濾器單元的組合，可以輕松實現(xiàn)廣泛的清潔度管理。
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