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pulstec 的LUCAS Nano 波紋度測量 裝置/透鏡裝置波前測量系統(tǒng)

更新時間:2023-11-24      瀏覽次數(shù):380


pulstec 的LUCAS Nano 波紋度測量

裝置/透鏡裝置波前的測量系統(tǒng)

特征
◆盧卡斯-努克
這是一個以低廉的價格實現(xiàn)穩(wěn)定的實時波紋度測量的系統(tǒng)。
  • 它具有較寬的高度測量范圍,可以測量白色干涉儀難以一

  • 次測量的起伏。

  • 它體積小、重量輕,可以集成到各種設(shè)備中。

  • 可進(jìn)行實時 [0.1 秒(最大)] 波紋度測量。

◆盧卡斯
這是鏡頭單元檢查和調(diào)整系統(tǒng)。
  • 它具有較寬的動態(tài)范圍,可以測量干涉儀難以測量的大像差。

  • 除了波前的傳感器之外,底座單元還內(nèi)置有自準(zhǔn)直儀、可用作測

  • 量光的激光光源以及便于調(diào)節(jié)的對準(zhǔn)相機(jī)。

  • 可根據(jù)需要選配各種附件(擴(kuò)束鏡、聚光鏡、參考球等)。

使用示例
◆盧卡斯-努克
  • 半導(dǎo)體晶圓波紋度測量

  • 平面基底上金屬薄膜波紋度的測量

  • 金屬和玻璃表面波紋度的測量

  • 硬盤表面波紋度的測量

◆盧卡斯
  • 非球面透鏡和凹/凸透鏡的檢查

  • 鏡頭單元和光學(xué)裝置的調(diào)整

  • 檢查平面物體的反射和透射波前的


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